THz-LoC Drop-Down

Integrierte Lab-on-Chip Terahertz-Spektroskopie-Plattform in BiCMOS Technologie

Monolithisch integriertes dielektrisches Terahertz-VNA-basiertes spektroskopisches Lab-on-Chip (LoC)
Monolithisch integriertes dielektrisches Terahertz-VNA-basiertes spektroskopisches Lab-on-Chip (LoC)

Projektziel ist die erstmalige Demonstration einer vollintegrierten ultrabreitbandigen Mikrofluidik-Plattform mit Terahertz-Spektroskopie-Sensoren für innovative Lab-On-Chip-Anwendungen. Die Zielplattform wird innerhalb einer einzelnen State-of-the-Art SiGe-BiCMOS-Technologie realisiert, die auch für eine Massenproduktion zur Verfügung steht. Diese IC-Technologie ermöglicht die Verknüpfung neuartiger Mikrofluidik-Kanalintegration in der Back-End-of-Line-Technologie (BEOL) mit komplexen integrierten THz-Schaltungen (z.B. zur Einspeisung in einen Vektor-Netzwerk-Analysator im Bereich 240-500 GHz) in der herkömmlichen Front-End-of-Line-Technologie. Der angestrebte Demonstrator wird die Untersuchung der Interaktion zwischen biologischen Zellen und elektromagnetischen Wellen ermöglichen, wobei durch integrierte „Fangelektroden“ sogar einzelne Zellen untersucht werden können.

Projektleitung:
Prof. Dr.–Ing. Dietmar Kissinger, TU Berlin und IHP
Prof. Dr.–Ing. Bernd Tillack, TU Berlin und IHP

Forschungsgruppe:
Defu Wang, M.Sc., Abteilung Circuit Design, IHP
Mesut Inac, M.Sc., TU Berlin
Dr. Klaus Schmalz, IHP
Matthias Wietstruck, IHP
Dr.–Ing. Canan Baristiran Kaynak, Abteilung Technologie, IHP
Dr.–Ing. Mehmet Kaynak, Abteilung Technologie, IHP

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Abstract

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